1、加熱臺的溫度控制范圍 |
室溫~800℃ |
2、工作面板面積 |
180mm*150 mm |
3、上下模冷卻方式 |
風(fēng)冷 |
4、加熱臺溫度控制精度 |
±3℃ |
5、時間設(shè)置范圍 |
0-任意時間 |
6、腔體內(nèi)最高真空度 |
-97至-100KPA, |
7、可鍵合芯片厚度 |
0~50mm |
8、升降溫速率 |
可控范圍為:5-20℃/分。 |
9、壓力范圍 |
0~2kN |
10、額定電壓 |
AC220V 50HZ |
11、額定功率 |
約7KW |
12、額定最高溫度 |
800℃ |
13、設(shè)備外型尺寸 |
主機器:600mm*850mm*1450mm 冷水機:440mm*440mm*870mm
|
14、重量 |
約250公斤 |
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